Базовые элементы

Лаборатория Голографических Информационных и Измерительных Систем (ЛГИИС) с 1967 года разрабатывает нанотехнологические голографические линейные и радиальные измерительные системы.

Разработаны, изготовлены и прошли испытания, следующие базовые элементы, на которых основаны все наши нанотехнологические измерительные системы:

• Линейные голографические дифракционные решетки с шагом 1 мкм и длиной до 1000 мм с формулой точности: Δ = ± (0,02 + 0,4L/1000) мкм, где L - длина решетки в мм.
• Высокоточные направляющие для линейных измерительных систем, основанные на склеенных решетках, соответствующие точности линейных решеток с отклонением от линейности не хуже +1,7 мкм/500 мм.
• Дифференциальный датчик касания, обладающий точностью +0,02мкм и усилие касания менее 10 гр. Скорость работы датчика до 100 мм/с.
• Радиальные голографические дифракционные решетки/датчики, имеющие 162000 штрихов. Точность +0,4угл.с/360° и +0,05угл.с/360° после коррекции.
• Высокоточный шпиндель, соответствующий точности радиальной решетки (R-биение
• Автоматическая система выхода в точку с точностью +0,5мкм по трем координатам.
• Самоустанавливающийся, самоочищающийся, безлюфтовый, керамический подшипник скольжения. Точность +0,05 мкм, нагрузка до 100 кг.
• Столы композиционные для координатно-измерительных машин (КИМ) и разметочные. Материал: ДИАБАЗ. Плоскостность (3-5) мкм/м. Размеры - любые!

Отметим, что:

• Все линейные и радиальные измерительные системы, основанные на голографических решетках и имеют разрешение 0,01 мкм и 0,01 угл.с. и менее.
• Введение коррекции (устранение систематических ошибок) увеличивает точность измерительных систем в 5-8 
• На вышеуказанные разработки получены аттестаты метрологических институтов и более 50 патентов РФ и зарубежных стран. Ряд приборов внесён в Госреестр РФ.